文件名

題目

狀態(tài)

簡介

ISO14644-1

通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進行分類

2015

涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的空氣潔凈度分類

ISO14644-2

監(jiān)測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能的證據(jù)

2015

監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求，以證明其繼續(xù)符合ISO14644-1

ISO14644-3

測試方法

2005

用于表征潔凈室和潔凈區(qū)性能的空氣顆粒潔凈度分類的測試方法

ISO14644-4

設計、建造和啟動

2001

潔凈室安裝的設計和構(gòu)造要求

ISO14644-5

運營

2004

潔凈室運行的基本要求

ISO14644-7

分離裝置（清潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環(huán)境）

2004

分離設備的設計、構(gòu)造、安裝、測試和批準的低要求

ISO14644-8

按化學物濃度（ACC）分類的空氣潔凈度

2013

涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中氣態(tài)分子污染物（AMC）的分類

ISO14644-9

通過顆粒物濃度對表面清潔度進行分類

2012

通過潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的顆粒物濃度確定固體表面潔凈度等級的分類

ISO14644-10

按化學物濃度對表面清潔度進行分類

2013

根據(jù)化學化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統(tǒng)

ISO14644-12

通過納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的指南

2018

根據(jù)懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔凈度的監(jiān)測

ISO14644-13

對表面進行清潔以便達到規(guī)定的顆粒物和化學物潔凈度

2017

用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度

ISO14644-14

根據(jù)懸浮顆粒物濃度評估設備使用的適用性

2016

設備在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中適用性的評估方法

ISO14644-15

通過懸浮化學物濃度評估設備和材料的適用性

2017

將用于潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的設備和材料引起的化學物潔凈度提出要求和指南

ISO14644-16

提高潔凈室和凈化設備能效的實施指南

2017（在編）

為新建和現(xiàn)有的潔凈室、潔凈區(qū)和分離設備提供優(yōu)化能源使用和保持能源效率的指導和建議